壓電偏轉(zhuǎn)鏡是以壓電陶瓷作為驅(qū)動元件，內(nèi)部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)計，外部機械結(jié)構(gòu)通過內(nèi)部多支壓電陶瓷的伸縮來實現(xiàn)單軸或多軸角度偏轉(zhuǎn)運動，補償量小，確保偏轉(zhuǎn)鏡具有的運動精度和超高的穩(wěn)定性，通過內(nèi)置高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)控制，實現(xiàn)亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。
P32θx θy Z三維壓電偏轉(zhuǎn)鏡是以壓電陶瓷作為驅(qū)動的傾斜鏡，壓電傾斜鏡內(nèi)部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)結(jié)構(gòu)，采用有限元分析柔性鉸鏈結(jié)構(gòu),緊湊的差分并聯(lián)結(jié)構(gòu)柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度，具有高剛性、高負(fù)載、無摩擦、免維護等特點，壓電偏轉(zhuǎn)鏡內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)位置反饋，確保偏轉(zhuǎn)鏡具有的運動控制精度、分辨率和穩(wěn)定性，可以達(dá)到納米量級，定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級。緊湊型設(shè)計，可更好的集成光學(xué)系統(tǒng)中。
驅(qū)動控制方式：
芯明天壓電偏轉(zhuǎn)鏡可以根據(jù)用戶對負(fù)載要求、使用頻率，通信功能、開環(huán)/閉環(huán)、體積要求等選擇不同功能的控制器，也可以根據(jù)用戶特定的需求開發(fā)定制。
典型應(yīng)用：
精密壓電偏轉(zhuǎn)鏡主要應(yīng)用于光通信、光路調(diào)整、光干涉、自適應(yīng)光學(xué)等領(lǐng)域，芯明天P33系列壓電偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)已經(jīng)成功應(yīng)用于衛(wèi)星激光通信實驗中，高精度的偏轉(zhuǎn)、快速跟蹤、穩(wěn)定的控制使其受到國內(nèi)外科研院所及企業(yè)的青睞。
