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芯明天直驅(qū)機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺 P77壓電掃描臺為一維Z軸運動平臺，壓電平臺中心為106mm大通光孔，壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu)，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可以實現(xiàn)Z 軸20μm的位移行程，無摩擦柔性導(dǎo)向機(jī)構(gòu)具有超高的分辨率，閉環(huán)版本定位精度可達(dá)納米級，是光學(xué)移相器的選擇。《查看更多》

直驅(qū)機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺 N63壓電掃描臺為二維XY軸掃描平臺，一體式結(jié)構(gòu)設(shè)計原理，壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu)，可實現(xiàn)8μm的掃描范圍，臺體高度僅為17mm，閉環(huán)版本具有超高的定位精度，適用于顯微掃描等應(yīng)用。《查看更多》

N65XY芯明天直驅(qū)機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺，一體式結(jié)構(gòu)設(shè)計原理，壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu)，可實現(xiàn)8μm的掃描范圍，臺體高度僅為17mm，閉環(huán)版本具有超高的定位精度，適用于顯微掃描等應(yīng)用。《查看更多》