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產(chǎn)品名稱:P63.XY18S P63.XY18K 壓電納米定位臺(tái)

產(chǎn)品型號(hào):

產(chǎn)品報(bào)價(jià):

產(chǎn)品特點(diǎn):P63.XY18S P63.XY18K 壓電納米定位臺(tái) 產(chǎn)品特點(diǎn): XY 軸行程 18μm/ 軸;開(kāi) / 閉環(huán)可選;承載可達(dá) 0.5kg;真空版本可選;

更新日期:2025-02-24

P63.XY18S P63.XY18K 壓電納米定位臺(tái)的詳細(xì)資料:

P63.XY18S P63.XY18K 壓電納米定位臺(tái) 產(chǎn)品特點(diǎn)

 XY 軸行程 18μm/ 軸

 開(kāi) / 閉環(huán)可選

 承載可達(dá) 0.5kg

 真空版本可選

技術(shù)參數(shù):

型號(hào)

S-閉環(huán)

K-開(kāi)環(huán)

P63.XY18S

P63.XY18K

單位

運(yùn)動(dòng)自由度

X、Y

X、Y


驅(qū)動(dòng)控制

2路驅(qū)動(dòng),2路傳感

2路驅(qū)動(dòng)


標(biāo)稱行程范圍(0 ~+120 V)

16/軸

16/軸

μm±10%

Max.行程范圍(0~+150 V)

18/軸

18/軸

μm±10%

傳感器類型

SGS

-


閉/開(kāi)環(huán)分辨率

0.6

0.2

nm

閉環(huán)線性度

0.3

-

%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度

0.25

-

%F.S.

俯仰/偏航/滾動(dòng)

≤15

≤15

μrad

空載諧振頻率

2

2

KHz±20%

閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間

8

0.5

ms±20%

承載能力

0.5

0.5

kg

靜電容量

1.8

1.8

μF±20%

工作溫度范圍

-20~80

-20~80

°C

材質(zhì)


出線長(zhǎng)

1.5

1.5

m±10mm

P63.XY18S P63.XY18K 壓電納米定位臺(tái) 尺寸圖

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