壓電偏轉(zhuǎn)鏡的特點(diǎn)說(shuō)明
產(chǎn)品特點(diǎn):
外形尺寸: 體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊、φ25mm*56mm
行程:6mrad 分辨率:0.05μrad
采用無(wú)摩擦、無(wú)回差緊湊的差分式并聯(lián)結(jié)構(gòu)柔性導(dǎo)向系統(tǒng),具有超高的導(dǎo)向精度
內(nèi)置高性能壓電陶瓷、高可靠性
內(nèi)置位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)位置反饋,開(kāi)/閉環(huán)可供選擇,可提供安裝及出線方式
壓電偏轉(zhuǎn)鏡是以壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)的傾斜鏡,壓電傾斜鏡內(nèi)部采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)結(jié)構(gòu),采用有限元分析柔性鉸鏈結(jié)構(gòu),緊湊的差分并聯(lián)結(jié)構(gòu)柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度,具有高剛性、高負(fù)載、無(wú)摩擦、免維護(hù)等特點(diǎn),壓電偏轉(zhuǎn)鏡內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)位置反饋,確保偏轉(zhuǎn)鏡具有的運(yùn)動(dòng)控制精度、分辨率和穩(wěn)定性,可以達(dá)到納米量級(jí),定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級(jí)。緊湊型設(shè)計(jì),可更好的集成光學(xué)系統(tǒng)中。