新品推薦|XD605.X90一維大負(fù)載電容傳感壓電納米定位臺及配套電容閉環(huán)控制器
X向運動、大負(fù)載
電容式傳感器
三種位姿、易使用
產(chǎn)品應(yīng)用
技術(shù)參數(shù)
型號 | XD605.X90C/K |
運動自由度 | X |
驅(qū)動控制 | 1路驅(qū)動,1路電容傳感 |
標(biāo)稱行程范圍(0~120V) | 76μm |
行程范圍(0~150V) | 95μm |
傳感器 | CAP/- |
分辨率 | 3nm |
閉環(huán)線性度 | 0.02%F.S./- |
閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.005%F.S./- |
俯仰 | <5μrad |
偏航 | <5μrad |
滾動 | <5μrad |
空載諧振頻率 | 615Hz |
帶載諧振頻率@5kg | 310Hz |
閉環(huán)階躍時間@5kg | 8ms@20μm |
承載能力 | 正立10kg |
臥式5kg | |
倒置10kg | |
靜電容量 | 37μF |
材質(zhì) | 鋁合金 |
重量(含線) | 5.7kg |
配套控制器
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