壓電納米定位臺是采用壓電陶瓷驅動的Z向納米級精密壓電納米定位臺，壓電掃描臺內部使用無摩擦、無回差的柔性鉸鏈導向結構，壓電定位臺采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結構，柔性導向系統具有超高的導向精度，且具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點，壓電平臺內置精密位移傳感器進行全閉環(huán)的位置反饋，確保了壓電納米定位臺具有的運動控制精度，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達到納米量級，定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級。中空式超薄設計，且中央通孔較大，可更好的集成于顯微及掃描系統中。
