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P22一維θx向壓電偏轉(zhuǎn)鏡4mrad 是以壓電陶瓷作為驅(qū)動元件，內(nèi)部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)計，外部機(jī)械結(jié)構(gòu)通過內(nèi)部多支壓電陶瓷的伸縮來實現(xiàn)單軸或多軸角度偏轉(zhuǎn)運動，補(bǔ)償量小，確保偏轉(zhuǎn)鏡具有良好的運動精度和超高的穩(wěn)定性，通過內(nèi)置高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)控制，實現(xiàn)亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。《查看更多》

p31芯明天二維θx,θy向壓電偏轉(zhuǎn)鏡 25mrad是以壓電陶瓷作為驅(qū)動元件，內(nèi)部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)計，外部機(jī)械結(jié)構(gòu)通過內(nèi)部多支壓電陶瓷的伸縮來實現(xiàn)單軸或多軸角度偏轉(zhuǎn)運動，補(bǔ)償量小，確保偏轉(zhuǎn)鏡具有良好的運動精度和超高的穩(wěn)定性，通過內(nèi)置高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)控制，實現(xiàn)亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。《查看更多》

壓電偏轉(zhuǎn)鏡/傾斜鏡采用壓電陶瓷直推驅(qū)動，零摩擦的柔性鉸鏈為導(dǎo)向系統(tǒng)使其具有結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、無機(jī)械摩擦、定位分辨率高等優(yōu)點。鏡子只需要簡單的固定到偏轉(zhuǎn)臺上，可提供2毫弧度的偏轉(zhuǎn)行程。在整個偏轉(zhuǎn)行程中可達(dá)到亞微弧度的分辨率。低的移動質(zhì)量和優(yōu)異的控制系統(tǒng)可以提供良好的響應(yīng)時間和和速度。《查看更多》