產(chǎn)品名稱:壓電物鏡定位器
產(chǎn)品型號:XD730.400S/K-B1
產(chǎn)品特點:壓電物鏡定位器,是一款 Z 向運動的物鏡 驅動平臺,它的行程大且承載能力達 0.5kg,非 常適于靜態(tài)定位應用。
更新日期:2024-03-01
壓電物鏡定位器 產(chǎn)品特點
Z 向運動 | 大行程范圍 | 承載達 0.5kg | 可選配閉環(huán)傳感器 |
產(chǎn)品應用
聚焦顯微 | 激光加工 | Z 向定位與掃描 | 表面結構分析 |
技術參數(shù) | |||
型號 | XD730.400S-B1 | XD730.400K-B1 | 單位 |
運動方向 | Z | Z | |
標稱行程范圍(0~120V) | 400 | 400 | μm±10% |
行程范圍(0~150V) | 500 | 500 | μm±10% |
傳感器類型 | SGS | - | |
分辨率 | 14 | 4 | nm |
閉環(huán)線性度 | 0.2 | - | %F.S. |
閉環(huán)重復定位精度 | 0.05 | - | %F.S. |
空載諧振頻率 | 150 | 150 | Hz±20% |
靜電容量 | 28.8 | 28.8 | μF±10% |
承載能力 | 0.5 | 0.5 | kg |
重量 | 520 | 520 | g±5% |
臺體材料 | 鋁、鋼 | 鋁、鋼 |
注:以上參數(shù)是采用E00/E01系列壓電控制器測得。最大驅動電壓可在-20V~150V;對于高可靠的長期使用,建議驅動電壓在0~120V。
壓電物鏡定位器
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