壓電移相器是移相干涉儀中非常重要的部件,壓電式移相器由于分辨率高、響應(yīng)速度快、易于控制、性能穩(wěn)定,因此被廣泛使用。 壓電移相器應(yīng)用案例: 圖像處理/穩(wěn)定 干涉法 激光掃描/光束偏轉(zhuǎn) 激光調(diào)諧 光過濾/開關(guān) 光束穩(wěn)定 壓電移相器特點: 用于掃描、光學(xué)對準(zhǔn)及鏡子移動裝置對準(zhǔn) 10mm中空 壓電三腳設(shè)計 光束偏轉(zhuǎn)可達2.4mrad 活塞運動可達12μm(移相器) 亞毫秒響應(yīng),亞微弧度分辨率 用于光學(xué),鏡片或其他部件 無摩擦,高精度彎曲導(dǎo)向系統(tǒng) 平行運動學(xué)擴展動態(tài)性及更好的多軸精度 壓電移相器技術(shù)參數(shù): 型號 | 開環(huán)-K | 移相器 | 偏轉(zhuǎn)鏡 | 單位 | P36.Z1K | P36.ZT1K | 運動自由度 | Z | Z、θx、θy | | 運動和定位 | 傳感器類型 | - | - | | θx、θy標(biāo)稱偏轉(zhuǎn)角度 | 0~120 V | - | 550 | μrad±20% | -20~150 V | - | 800 | μrad±20% | Z向直線行程范圍 | 0~120 V | 8 | 8 | µm±20% | -20~150 V | 12 | 12 | µm±20% | 偏轉(zhuǎn)分辨率 | - | 0.02 | µrad,typ. | 直線分辨率 | 0.1 | 0.1 | nm,typ. | 機械性能 | 空載諧振頻率 | 7.5 | 7.5 | kHz±20% | 驅(qū)動性能 | 靜電容量 | 0.4 | 0.4 | μF/軸±20% | 其他 | 工作溫度范圍* | -20~80 | -20~80 | °C | 材質(zhì) | 鋼 | 鋼 | | 外形尺寸(直徑-內(nèi)徑/高) | 20-10/19.5 | 20-10/19.5 | mm×mm×mm | 重量 | 50 | 80 | g±5% | 出線長 | 1.5 | 1.5 | m±10mm | 電壓連接器** | LEMO | LEMO | |
*可定制超低溫版本及超高真空版本。 **可定制連接器 |