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1.一維壓電納米定位臺介紹

壓電納米定位臺是以壓電陶瓷做為基礎(chǔ)元件驅(qū)動(dòng)的壓電平移臺，X 軸，XY 軸，XYZ 軸多維壓電平移臺，驅(qū)動(dòng)形式包含壓電陶瓷直驅(qū)式以及機(jī)機(jī)構(gòu)放大式兩種驅(qū)動(dòng)形式。相同驅(qū)動(dòng)電壓下，機(jī)構(gòu)放大平臺的位移是直驅(qū)平臺位移的幾倍至幾十倍；直驅(qū)平臺的響應(yīng)速度要比機(jī)構(gòu)放大平臺的速度快。壓電平移臺的運(yùn)動(dòng)行程范圍zui大可達(dá) 300μm，且它具有納米級分辨率以及毫秒級的響應(yīng)時(shí)間。在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用，且應(yīng)用非常廣泛，例如顯微掃描、光路調(diào)整、納米操控技術(shù)、CCD 圖像處理、激光干涉、納米光刻、生物科技、光通信、納米測量、顯微操作、納米壓印等。

2.一維壓電納米定位臺系列介紹

P11系列壓電納米定位臺為小體積1~3維壓電平移臺，P11.Z為一維壓電納米定位臺，平臺內(nèi)部采用無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，一體的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，多維運(yùn)動(dòng)無耦合。 機(jī)構(gòu)放大式驅(qū)動(dòng)原理，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可實(shí)現(xiàn)110μm位移。閉環(huán)版本定位精度可達(dá)納米級。采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度，具有高剛性、高負(fù)載、無摩擦、免維護(hù)等特點(diǎn)。壓電定位臺具有的控制精度，分辨率和穩(wěn)定 性可以達(dá)到納米量級，定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級，壓電定位臺為無磁材質(zhì)，使用過程中不受磁場的影響，壓電定位臺體積小、結(jié)構(gòu)緊湊 易于集成。

 3.一維壓電納米定位臺特性

      • 一維Z軸運(yùn)動(dòng)                   • zui大行程110μm，可選擇210μm、320μm版本                   • 體積小巧                   • 毫秒級響應(yīng)時(shí)間                   •  納米級定位精度

外觀形狀	產(chǎn)品運(yùn)動(dòng)示意圖	放大機(jī)構(gòu)式驅(qū)動(dòng)示意圖

大行程、閉環(huán)版本定位精度高、響應(yīng)速度快		傳感器類型	頻率負(fù)載曲線
P11系列納米定位臺采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)源，可以實(shí)現(xiàn)1~3維110μm的精密運(yùn)動(dòng)。 該系列壓電納米定位臺可以選擇開環(huán)或閉環(huán)版本， 閉環(huán)版本采用高精度傳感器對位置進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測反饋，配置芯明天E00/E01、E72/E73、E52/E53等系列閉環(huán)壓電控制器可以實(shí)時(shí)對位移進(jìn)行精密調(diào)整，實(shí)現(xiàn)納米級的精密定位控制。 P11系列壓電納米定位臺的響應(yīng)速度非?？欤涮譋52系列壓電控制器可實(shí)現(xiàn)0.8ms的階躍時(shí)間。