P51系列壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái)為θx,θy軸偏擺Z軸升降臺(tái),偏轉(zhuǎn)行程為±1.1mrad,Z軸直線行程可達(dá)110μm。 P51偏轉(zhuǎn)臺(tái)臺(tái)體采用無(wú)回差柔性鉸鏈導(dǎo)向結(jié)構(gòu),采用有限元分析進(jìn)行優(yōu)化,具有超高的剛度以及導(dǎo)向精度。 可選擇內(nèi)置精密傳感器進(jìn)行全閉環(huán)位置反饋,確保其具有的運(yùn)動(dòng)控制精度,直線運(yùn)動(dòng)分辨率可達(dá)到亞納米級(jí)、偏轉(zhuǎn)分辨率達(dá)亞微弧度、定位穩(wěn)定時(shí)間為毫秒量級(jí)。 | | 通過(guò)有限元FEA優(yōu)化的鉸鏈用于導(dǎo)向機(jī)構(gòu)偏轉(zhuǎn)臺(tái)。有限元分析技術(shù)用于設(shè)計(jì)運(yùn)動(dòng)方向上zui高的剛度,并減少角度偏差。鉸鏈部分允許*精度的運(yùn)動(dòng),因?yàn)殂q鏈機(jī)構(gòu)無(wú)間隙、無(wú)摩擦。 |