壓電物鏡定位器 產(chǎn)品特點(diǎn)
Z 向運(yùn)動
大行程范圍
承載達(dá) 0.5kg
可選配閉環(huán)傳感器
位移與電壓曲線
線性度曲線
產(chǎn)品應(yīng)用
聚焦顯微
激光加工
Z 向定位與掃描
表面結(jié)構(gòu)分析
型號
XD730.400S-B1
XD730.400K-B1
單位
運(yùn)動方向
Z
標(biāo)稱行程范圍(0~120V)
400
μm±10%
行程范圍(0~150V)
500
傳感器類型
SGS
-
分辨率
14
4
nm
閉環(huán)線性度
0.2
%F.S.
閉環(huán)重復(fù)定位精度
0.05
空載諧振頻率
150
Hz±20%
靜電容量
28.8
μF±10%
承載能力
0.5
kg
重量
520
g±5%
臺體材料
鋁、鋼
注:以上參數(shù)是采用E00/E01系列壓電控制器測得。最大驅(qū)動電壓可在-20V~150V;對于高可靠的長期使用,建議驅(qū)動電壓在0~120V。
壓電物鏡定位器
17051647888
哈爾濱芯明天科技有限公司(www.u3291.cn)主營:壓電促動器,壓電移相器,壓電快反鏡,快速刀具定位器
哈爾濱芯明天科技有限公司 版權(quán)所有 ICP備案號:黑ICP備16009173號-2 管理登陸 技術(shù)支持:儀表網(wǎng) 網(wǎng)站地圖
0451-86268790