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產品名稱：芯明天放大機構式壓電掃描臺

產品型號：P-18系列

產品報價：

產品特點：芯明天放大機構式壓電掃描臺 P-18壓電掃描臺為1-3維直線掃描臺。臺體采用機構放大設計原理，內置高可靠性壓電陶瓷，可以實現(xiàn)X、XY、XYZ大370μm 的高速掃描，大通光孔徑為Ø35mm，多種位移行程及規(guī)格型號可供選擇，適用于大行程多維掃描等應用。

更新日期：2021-03-23

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P-18系列芯明天放大機構式壓電掃描臺的詳細資料：

芯明天放大機構式壓電掃描臺 P-18壓電掃描臺為1-3維直線掃描臺。臺體采用機構放大設計原理，內置高可靠性壓電陶瓷，可以實現(xiàn)X、XY、XYZ大370μm 的高速掃描，大通光孔徑為Ø35mm，多種位移行程及規(guī)格型號可供選擇，適用于大行程多維掃描等應用。

芯明天放大機構式壓電掃描臺P-18壓電掃描臺特性

• 大位移370μm

• 大承載3.5kg

• 通孔直徑：Ø35mm

• 閉環(huán)重復定位精度高 • 響應速度快

1~3維掃描臺

P18系列壓電掃描臺包括X/XY/XYZ三種結構形式，可以滿足1~3維大行程掃描或定位的應用需求。

大位移、大承載、高剛度、高頻響

P18系列壓電掃描臺內置高可靠性壓電陶瓷驅動，可以實現(xiàn)大370μm的掃描范圍，運動直線性好，可選擇閉環(huán)版本獲得優(yōu)異的線性度與重復定位精度。

P18采用*的結構設計，具有大剛度、大出力、大承載等特點，大承載達3.5kg，空載諧振頻率達600Hz，配套芯明天大功率控制器響應時間可達5ms，是精密加工、半導體制造、掃描顯微等應用。

P-18壓電掃描臺典型應用

• 圖像處理與穩(wěn)定 • 掃描顯微

• 干涉/計量 • 表面檢測

• 半導體測量 • 光學計量

應用實例-納米光刻

在納米光刻實驗中需要對鏡片進行高速微納米級的精密移動，從而優(yōu)化鏡片讀取的信息。芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高穩(wěn)定性等優(yōu)點應用于納米光刻實驗。

P-18壓電掃描臺技術參數(shù)：

型號	尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán)	P18.X200S P18.X200K	P18.X300S P18.X300K	P18.XY200S P18.XY200K	P18.XY300S P18.XY300K	P18.XYZ200S P18.XYZ200K	單位
運動自由度		X	X	X、Y	X、Y	X、Y、Z
標稱行程范圍(0~120V)		200	300或±150	200/軸	300或±150/軸	200/軸	μm±20%
大行程范圍(-20~150V)		280	370或±185	280/軸	370或±185/軸	280/軸	μm±20%
傳感器類型		SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-
通孔尺寸		Ø35	Ø35	Ø35	Ø35	Ø35	mm
閉/開環(huán)分辨率		8/5	10/5	8/5	10/5	8/5	nm
閉環(huán)線性度		0.2/-	0.2/-	0.2/-	0.2/-	0.2/-	%F.S.
閉環(huán)重復定位精度		0.15/-	0.1/-	0.15/-	0.1/-	0.15/-	%F.S.
俯仰/偏航/滾動		<10	<15	<10	<15	<15	µrad
推/拉力		60/20	150/150	60/20	150/150	30/10	N
運動方向剛度		0.3	0.5	X0.3/Y0.3	X0.5/Y0.5	X0.1/Y0.1/Z0.1	N/μm±20%
空載諧振頻率		500	600	X200/Y450	X250/Y500	X300/Y200/Z120	Hz±20%
閉/開環(huán)空載階躍時間		30/5	30/10	50/5	50/10	50/5	ms±20%
閉環(huán)空載工作頻率	10%行程	100	50	50	40	30	Hz±20%
閉環(huán)空載工作頻率	行程	30	15	15	10	5	Hz±20%
大承載		2	3.5	1.5	3	1	kg
靜電容量		11	21	11/軸	21/軸	11/軸	μF±20%
材質		鋁	鋁	鋁	鋁	鋁
重量		200	220	360	380	600	g±5%

以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。

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